項目名稱:合肥晶合12吋晶圓制造基地項目12吋晶圓快速退火處理系統(Lamp),鋁金屬之物理氣相沉積系統等
項目編號:0613-184025053050
招標范圍:1 快速退火處理系統(Lamp) 1套
2 鋁金屬之物理氣相沉積系統 1套
3 鈦金屬與氮化鈦之物理氣相沉積系統 1套
4 鈷金屬之物理氣相沉積系統 1套
5 金屬介電層的二氧化硅薄膜沉積之高密度電漿系統 2套
6 二氧化硅薄膜沉積之電漿增強化學沉積系統(PETEOS) 1套
招標機構:上海機電設備招標有限公司
招標人:合肥晶合集成電路有限公司
開標時間:2018-09-26 10:00
公示時間:2018-09-26 18:33 - 2018-09-29 23:59
中標結果公告時間:2018-09-30 15:30
中標人:Applied?Materials?South?East?Asia?Pte.?Ltd.
制造商:Applied?Materials?South?East?Asia?Pte.?Ltd.(登錄名chinaakt)
制造商國家或地區:新加坡